随着无尘洁净厂房空气质量、无尘洁净度要求的进步，呈现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋向。无尘车间的温湿度次要是依据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应思索到人的温馨度感。
无尘车间对温湿度的控制决取于其生产工艺。在满足加工工艺的条件下，还应该考虑到人的舒适感。因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。我们来看常见无尘车间对温湿度有要求的工艺：
1、在精密机械加工和测量中，为了防止热膨胀引起的误差，工件必须保持一定的温度。工件温度的允许波动件温度的允许波动幅度。由于工件测量仪器具有一定的热惰性，空气温度波动传递给工件后会衰减。恒温系统的设计一般以恒温为基础，因此相应的环境温度精度可低于工件允许的温度精度。因此，在确定恒温室参数和选择自动控制时，必须考虑恒温恒湿车间、围护结构、空气处理设备和自动控制系统之间的动态特性。
2、在电子行业，制造车间是产生静电最重要的地方。通常，静电会导致产品短路，甚至员工导电晕倒。因此，电子行业无尘车间的相对湿度不应低于30%，以减少静电的产生。一般建议无尘车间防静电区的相对湿度不低于50%。过于干燥的空气容易飞扬灰尘，电子厂无尘车间无特殊要求，温度控制在22 ℃ 相对湿度控制在左右，在这种环境下，人们感到舒适，静电消失了。
